Produkteigenschaften:

Das Argon-Ionen-Poliersystem ist ein Desktop-Prüfgerät für die Querschnittsvorbereitung und das Flachpolieren von Proben, um Proben auf SEM und anderen Geräten zur Prüfanalyse zu ermöglichen. Eine Vielzahl von Materialien, die mit Ilion II poliert werden können, umfasst Proben aus mehreren Elementen sowie Legierungen, Halbleitermaterialien, Polymere und Mineralien mit unterschiedlichen mechanischen Härten, Größen und physikalischen Eigenschaften. SEM- und EBSD-Proben für verschiedene Materialien wie Schweißnahtsechnitte, integrierte Schaltungsschweißpunkte, mehrschichtige Filmschnitte, Partikel, Fasersechnitte, Verbundstoffe, Keramik, Metalle und Legierungen, Gesteinsminerale und andere anorganische Nichtmetalle.

Haupttechnische Parameter:

1. Ionenpistolen: Zwei Penning-Ionenpistolen mit dreifacher Konstruktion (Katode, Anode und Fokuspolde) mit seltenen Erdmagneten, Fokuss-Ionenstrahldesign, hohe Leistung ohne Verbrauchsmaterialien

Polierwinkel: +10° bis -10°, jede Ionenpistole kann unabhängig eingestellt werden

Ionenstrahlenergie: 100 V bis 8,0 kV

4. Ionenstrahldichte: 10 mA / cm2 Spitze

Poliergeschwindigkeit: 300 μm/h (für Siliziumproben unter 8,0 kV)

6. Probenbelastung: Ilion Probenblatt, einfache Probenbelastung, genaue Position erneut poliert, wiederverwendbar, mit dem Probenstub kann direkt in SEM beobachtet werden

7. Probe Drehung: 0,5 bis 6 rpm kontinuierlich einstellbar

8. Strahlmodulation: Ionenstrahlmodulationsfunktion, die Sektorschnittspolierung (Sektorwinkel von 10 bis 90 Grad einstellbar) und Flachpolierung durchführen kann

Probenbewertung: Digitales Zoommikroskop mit PC- und Digital Micrograph-Software zur Bilderfassung, Echtzeit-Bildgebung (300x-2200x) sowie Bildspeicherung und -analyse mit der Gatan Digital Micrograph-Software

Flüssiger Stickstoff Kühlstand: Konfiguration flüssiger Stickstoff Kühlstand, Probe zu niedrigen Temperaturen bis zu -120 ° C, effektiv zu reduzieren, die Schäden durch den Ionenstrahl an der Probe verursacht

Vakuumsystem:

Trockenpumpensystem: Zweistufige Membranpumpe unterstützt eine Turbomolekularpumpe von 80 l / s

12. Druck: 5x10-6 Strom Grunddruck, 8.5x10-5 Strom Arbeitsdruck

13. Vakuumregler: Kaltkathod-Typ für den Hauptprobenraum; Feststoff für mechanische Vorpumpen

14. Probe-Luftsperre: Whisperlok-Design, Probe-Austauschzeit <1min, ohne Probe-Kammer-Vakuum zu brechen

Benutzeroberfläche:

15,10-Zoll-Touchscreen: Einfache Bedienung und vollständig programmierte Steuerung aller Parameter für die Rezepturbearbeitung.

Betriebsmodus: Anpassen Sie die Kombination verschiedener Bearbeitungsparameter an, um einen Klick zu erreichen.

Hauptanwendungsbereiche:

EBSD Probenvorbereitung

Schnittprobenverbereitung

Metallmaterialien (Legierungen, Beschichtungen)

Öl geologische Steinminerale

Optoelektrische Materialien

Chemische Polymerenmaterialien

Neue Energiebatterien

Elektronische Halbleitergeräte

PCB-Schaltungsversion Schnittpolierung SEM-Diagramm

Polieren von verzinkten Stahlplatten

Zn Korn

Fe-Korn